人员编制

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有在职职工780人，其中一线科技和管理人员685人，研究员及正高级工程技术人员89人，有中国科学院院士2人，美国国家科学院外籍院士1人，中国科学院“百人计划”入选者18人，国家杰出青年科学基金获得者4人，国家“百千万人才工程”入选者6人，上海市科技领军人才8人次。

科研部门

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有8个研究室，6个分支机构（共建机构），研究所有国家重点实验室2个，中科院重点实验室2个。

国家重点实验室：传感技术联合国家重点实验室/微系统技术重点实验室、信息功能材料国家重点实验室

合作交流

国际交流

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所参与欧洲第六框架计划、欧洲伽利略空间计划、中芬信息通信技术（ict）战略联盟等国际合作计划，与德国于利希研究中心共建“中德超导与生物电子学联合实验室”、与荷兰imc公司共建“simit-imec物联网联合实验室”，在超导、生物电子、无线通信、物联网、医疗电子等领域开展了全方位的合作。

所地合作

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所举办了集成电路设计与产业所企对接会，和东南大学合作建立的中科院南京宽带无线移动通信研发中心成为江苏省产业研究院2015年度5家预备研究所之一，与中科大信息学院、中国电科49所等机构签署项目合作协议，与南通市政府合作成立中科院南通光电工程中心。

设施资源

研究设施

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统工艺平台坐落于上海市宜山路800号，于2003年建成 ，微系统工艺平台建有100级净化厂房70平方米，1000级净化厂房700平方米；微系统封装平台位于上海漕河泾高新技术开发区，拥有封装和测试设备，净化室总面积约800平方米，总资产超过4000万元；上海市集成光学技术研究中心位于上海市长宁路865号，中心包括两个组成部分：工艺加工平台和测试实验室。中心现有1000级净化厂房100平方米，10000级净化厂房250平方米。

仪器设备

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所构建了多个科研研究平台，建有上海材料与制造大型仪器区域中心，中心现有大型仪器超过100台，总金额约6亿元。通过中科院仪器设备共享管理平台将100余台通用仪器设备实现了公用共享，主要仪器设备如下表所示：

馆藏资源

根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所图书馆馆藏为：中文图书1万多册，西文图书1·4万多册，西文、日文、中文期刊共500多种，已开通了isi web of knowledge， elsevier， springer等网络数据库，并与中国科学院国家科学数字图书馆、国家科技图书文献中心建立了全文传递服务。中西文图书和期刊均已实现全天候网络查询。