2003年4月，河源市高新技术开发区筹备工作指挥部成立。

2006年9月，中山（河源）产业转移工业园被广东省认定为省级产业转移工业园。

2008年8月，园区被广东省政府认定为第一批省级示范性产业转移工业园。

2011年8月，园区被广东省人民政府认定为“省级产业转移园重点园区”。

2013年3月，园区获评为广东省五星级优秀园区。

2013年11月，中山（河源）产业转移工业园调整为深圳（河源）产业转移园。

2015年2月，获国务院批准，成为粤东西北地区首个国家级高新区。

2019年9月，园区被工业和信息化部授予”绿色园区“称号。

2020年11月，园区管委会被中央文明委评为”全国文明单位“。